来源:电子发烧友网
时间:2012-11-02
IBM实验室(如上所示)一直为全人类探索着前沿人造材料——如超导材料,就是其中之一。它由四个真空室组成。
的实验室始建于2003年,也是IBM首次采用了激光沉积技术的实验室。
一个大型蒸发室,具有三种沉积技术实验室支持以及激光和溅射技术。研究人员可以在该实验室内试验80种材料。
实验室使用多个布莱恩电脑,通过Opto 22 控制系统阀门,及其温度和其他动力学。
钱伯斯暴露了小一寸晶圆,包括各种原子沉积技术,在这种情况下一个芯片使用激光进行曝光。
IBM的S系统紧邻着R系统,它主要提供一个更灵活和可靠的方式,溅射使用七材料,直至今天仍在使用。
IBM的A系统是一种先进的溅射单元,主要用来辅助研究一些开创性的研究,如MRAM技术。
这个仪器设备主要作用是为研究人员在深夜时,运用自身能量将几个原子层溅射出来。