表面电阻测试仪注意事项及测试原理

一、表面电阻测试仪注意事项：

1,压下探头时，压力要适中，以免损坏探针；

2,由于样品表面电阻可能分布不均，测量时应对一个样品多测几个点，然后取平均值；

3,样品的实际电阻率还与其厚度有关还需查附录中的厚度修正系数进行修正。

表面电阻测试仪测试原理：

当四根金属探针排成一条直线，并以一定压力压在半导体材料上时，在1,4两根探针间通过电流I,则2,3探针间产生电位差V（如图所示）。根据公式可计算出材料的电阻率：其中，C为四探针的探针系数（cm），它的大小取决于四根探针的排列方法和针距。

二，仪器操作：

（一）测试前的准备：

1,将电源插头插入仪器背面的电源插座，电源开关置于断开位置；

2,工作方式开关置于“短路”位置，电流开关处于弹出位置；

3,将手动测试架的屏蔽线插头与电气箱的输入插座连接好；

4,对测试样品进行一定的处理（如喷沙，清洁等）；

5,调节室内温度及湿度使之达到测试要求。

（二）测试：首先将电源开关置于开启位置，测量选择开关置于“短路”，出现数字显示，通电预热半小时。

1,放好样品，压下探头，将测量选择开关置于“测量”位置，极性开关置于开关上；

2,选择适当的电压量程和电流量程，数字显示基本为“0000”，若末位有数字，可旋转调零调节旋钮使之显示为“0000”；

3,将工作方式开关置于“I调节”，按下电流开关，旋动电流调节旋钮，使数字显示为“1000”，该值为各电流量程的满量程值；

4,再将极性开关压下使数显也为1000±1,退出电流开关，将工作方式开关置于1或6.28处（探头间距为1.59mm时置于1位置，间距为1mm时置于6.28位置）； （调节电流后，上述步骤在以后的测量中可不必重复；只要调节好后，按下电流 开关，可由数显直接读出测量值。）

5,若数显熄灭，仅剩“1”，表示超出该量程电压值，可将电压量程开关拨到更；

6,读数后，将极性开关拨至另一方，可读出负极性时的测量值，将两次测量值取平均数即为样品在该处的电阻率值。

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