与能量关联，MEMS的发展才能赶上微电子

近日，中国半导体行业协会MEMS分会市场年会暨MEMS传感器创新与智能穿戴/智慧家庭应用对接峰会在苏州举办，本次大会是中国MEMS产业界规格 盛会之一，大会齐聚了行业内领导、专家，以及MEMS领域设计、制造、封装测试、设备材料、解决方案、系统应用、终端智能硬件等企业代表400多人，共同 来探讨MEMS产品市场应用。本次大会由中国半导体行业协会MEMS分会主办，由思锐达传媒承办。以下内容是《智慧产品圈》记者根据与会嘉宾在大会上所做 的演讲内容进行的提炼整理。

中国科学院电子学研究所第九研究室刘昶主任

与能量关联，MEMS的发展才能赶上微电子

MEMS真正起家大概在1954年。近十年来，传感器发展迎来了春天。

在某种程度上来计，技术本身是没有用的，技术要为市场和社会服务才能体现价值。比如触摸技术本身并没有什么用，苹果公司将触摸技术应用到iPhone上，触摸技术才发挥出作用。

对于技术的研发创新力量，以前国内认为大学和研究院是创新的主体。现在国内的这种观念开始转变，意识到企业才是创新的真正主体。国外也有很多的例证，比如，美国好的MEMS就企业实现的，因为大学没有足够的资金去做这件事情。

谈到MEMS，现在MEMS技术发展到什么程度？过去，做一个MEMS，首先要有芯片代工生产，其次要做电路设计，电路有模拟和数字之分，还会涉及到逻 辑、射频、功耗等因素，这些都要考虑进去才可实现。当下，MEMS已经到了除了芯片以外，还得把电路做到一起，要代工生产，一般设计MEMS的企业都没有 实力去开发芯片加工。芯片代工之后，还要做集成封装。封装之后还没有结束，如果芯片上有微处理器，还要给微处理器装软件，装完软件，传感器要标底(这句话 让文娟看看如何修化)。现在MEMS已经完全不是一个硅片，而是一个系统。这个系统的开发，不仅是要懂机械，还要懂电子、软件设计、测试等很多。

摩尔定律是半导体领域的定律，摩尔定律根本不是技术定律和市场定律。虽然摩尔定律经历了三十年的高速发展，现在仍有潜力，而且潜力还很大。市场需要什么东西，只要明确，一定能做出来。

MEMS并没有摩尔定律，希望找到MEMS以后的摩尔定律是什么，也许现在的物联网以后会有新的摩尔定律，大家可以去开发一下。

今后MEMS的发展方向将会是无限集成，有四个体现，即：小、薄、智能化、省电。

封装工艺，已经成为微电子和MEMS之间的桥梁的工艺。现在学MEMS重要不是MEMS芯片怎么做，而是要懂封装技术。如果不懂封装技术，而是只做一个 MEMS、一个电路，不知道如何集成起来，一点用都没有。当前，先进的工艺是WAFER-LEVEL, CHIP-SCALE PACKAGING。将两片同样大小的硅片对合在一起。下一步会发生什么？不是把两个硅片间隔起来，是放在一个硅片上。这个目前还很难，工艺很难。

未来三十年会MEMS技术和工艺会发生什么？给大家看几个过去历史已经发生的一些事情，除了摩尔定律以外，这个世界上还有很重要的定律，比如世界上重大的 发明用多长的时间进入社会？从早的电话、无线电，再到后来到的网络，都经历有几十年。而当前，一个新的技术进入社会的话，大概只需要5年。

另外，摩尔定律被业界熟知近三十年，摩尔定律进入世界已有100年。当前很难将运算速度提高，要跟随摩尔定律的做法就是降低价格。比如，小米等企业通过压低价格来赢得市场空间，实际上是为了遵循摩尔定律。

物联网这么红火，重要的一个原因是，很多大公司看到了这种连接性是下一个给世界提供MEMS的机会，今后可能会有上百亿上千亿的传感器的市场需求，传感器实现的连接性会给整个人类社会提供更多的价值。

真正影响我们未来的发展的是能量。如果MEMS只是作为手机里或者可穿戴产品里面的传感器的话，MEMS发展前景非常有限；如果MEMS与能量建立关联，或者能够通过连接性带来数量增加的话，那个MEMS的发展才真正能够赶上微电子的发展。