KLA-Tencor首席营销官：设备如何引领潮流

　　近年来，KLA-Tencor在中国的业务发展迅速，其业务已涵盖了半导体的多个领域，从硅片检测到线宽量测，以及光罩部分，KLA-Tencor都在业界处于水平。同时，KLA-Tencor也在积极向LED等新的领域扩展。除了这些业务以外，KLA-Tencor还提供技术支持与服务。

　　KLA-Tencor在中国的总部位于上海，在北京、天津、苏州、无锡、大连、西安、武汉都设有分支机构。总员工人数超过190人，装机量突破了1600台。KLA-Tencor非常重视中国市场，在中国进行了持续的投资以实现进一步的发展。

　　据KLA-Tencor相关人士介绍，目前半导体制程控制设备市场已达49亿美元， 制程控制的成本大约占总生产成本的15%，在半导体制造中有着举足轻重的作用。KLA-Tencor用于研发的费用逐年递增。大量的研发投入确保了KLA-Tencor在检测技术上的地位。

　　上述人士表示，半导体产业面临很多挑战，有技术上的提升，也有成本上的挑战，还有产业中持续进行的兼并整合。同时产业也充满着不确定性。新的结构、材料以及封装技术将取代2D产品。EUV光刻技术将被推迟到2018年以后。大尺寸的450mm晶圆也将有可能延迟。产业的整合带来了更严峻的竞争。半导体的技术拐点非常难以预测。2011年业界预测EUV将在14nm使用，今天看来EUV技术有可能延迟到2018年的7nm节点。预测相对准确的是逻辑FinFET结构，它在2012年得以应用在实际生产中。

　　该人士介绍，随着技术的进步发展，制程的步骤越来越多，工艺也更加复杂化。例如在14nm, 采用EUV光刻技术的制程步骤将超过700步，而采用多重图形技术的步骤则为1000步甚至更多。工艺窗口的挑战要求几乎“零缺陷”， 对工艺控制水平提出了更高的要求。“KLA-Tencor的产品线非常丰富，涵盖了半导体制程的各个环节和技术节点，包括晶圆表面缺陷、光罩、薄膜、关键尺寸等等。KLA-Tencor的设备也同时提供数据的分析和储存。在其它领域，如高亮度LED、MEMS、功率器件等，KLA-Tencor也为客户提供了大量的先进技术和机台。”

　　记者：可穿戴电子设备是半导体芯片应用的新领域。它具有更多的功能和很多的传感器，意味着芯片的结构也更加复杂。那么这样复杂的芯片制造对于检测技术提出了哪些新的挑战?

　　KLA-Tencor首席营销官Brian Trafas博士：成本是非常重要的，更加复杂的功能确实对芯片制造提出了更高的要求，这些新的挑战有很多是在封装和良率控制方面。KLA-Tencor也有专门的机台服务于这些领域。

　　记者：KLA-Tencor目前在中国的机台数量超过1600台，请问今年的订单状况如何?对明年有什么预期?今年中国政府出台了很多政策扶持产业发展，包括国家专项基金。 KLA-Tencor如何看待这些政策对产业的带动作用?

　　KLA-Tencor首席营销官Brian Trafas博士: KLA-Tencor非常看重中国市场。 KLA-Tencor在中国发展的这些年里，有时比较顺利，有时也面临很多问题，目前，国家集成电路产业投资基金(一期规模1200亿)获批，聚焦制造和设计两个核心环节，同时北京、安徽、天津等地相继出台了集成电路扶持意见。因此，中国集成电路产业将迎来重要发展机遇。因此，KLA-Tencor公司也将加大在中国的投入力度，全力支持中国半导体行业发展。但总的来说，道路是曲折的，前途是光明的，我们相信未来的中国市场会有很好的发展前景。无论产业的起起伏伏，我们看到了政府对半导体产业的大力支持，无论大环境还是小环境，中国的半导体产业正在向好的方向发展。虽然对未来做精确的预测比较难，但是未来的一年我们认为应该会是一个不错的年份。KLA-Tencor在中国的客户包括了几乎所有的晶圆厂，无论是中国本土的华虹宏利、中芯国际，或是制程集中在6寸的先进半导体，也包括了合资的企业例如海力士、TSMC、三星、Intel等。国内的很多半导体工艺设备厂商也是我们的客户，因为他们需要用到KLA-Tencor的机台来检测自己的工艺是否合格。总之，KLA-Tencor对于中国的市场非常有信心。

　　记者：有一些外资企业通过参股中国本土半导体公司的方式来共享政府的红利。请问KLA-Tencor是否有计划通过资金投入的方式获得同样的红利?

　　KLA-Tencor首席营销官Brian Trafas博士：KLA-Tencor在中国的研发投入一直在不断加大，我们有一些专门的部门在负责这方面的事项。中国不仅有好的政策支持，也拥有大量的优秀人才和市场，KLA-Tencor在未来会把一些可以拿到中国来的研发工作尽量放到中国来做。KLA-Tencor不仅为客户提供服务和支持，同样也在研发资金方面进行持续的投入。

　　记者: KLA-Tencor目前在中国集中在上海及附近的地区，但是中国很多地方争睹希望吸引到更多的公司到当地建厂或设立配套设施。请问KLA-Tencor未来有没有考虑将配套设施扩大到中国的其他区域?

　　KLA-Tencor首席营销官Brian Trafas博士：上海市中国半导体产业集中的地区，KLA-Tencor除了在上海设有办事处外，在北京、西安、无锡等地也都有据点。我们的原则是客户去哪里我们就去哪里。KLA-Tencor会尽自己的所能帮助客户取得的成功。

　　记者：KLA-Tencor对未来LED产业有什么样的规划?对目前中国LED产能过剩的情况有什么看法?

　　KLA-Tencor首席营销官Brian Trafas博士：KLA-Tencor的主要业务还是半导体，但是我们一直在关注LED产业，也注意到了产能过剩的现象。KLA-Tencor的LED产品主要集中于衬底的测量，以及高端LED工艺的检测。另外衬底同样也可以应用于其它的新兴领域例如功率器件，因此对于KLA-Tencor来说，我们的检测设备拥有更广阔的市场。受前两年国内部分地方政府财政补贴引发企业投资热潮，而LED照明市场又因价格过高制约市场普及的影响，国内LED产业近两年深陷产能过剩困境。虽然现在中国LED产业目前虽面临产能过剩，但未来肯定会扭转过来。