MOCVD是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。作为LED芯片生产过程中为关键的设备,MOCVD的核心技术长期被欧美企业所垄断,严重制约了中国LED产业的健康发展。
有数据显示,我国MOCVD市场近九成的市场份额被外来企业牢牢占据,美国维易科(VEECO) 和德国爱思强(AIXTRON)则是近90%的市场份额中的大头。我国的企业只占据了可怜的10%的份额,这使得我国的MOCVD企业很是尴尬。
不过,我国的MOCVD企业已经意识到了这一尴尬局面,正在奋起直追。11月12日,华灿光电发布公告称:公司根据国家工信部《2013年度电子信息产业发展基金项目指南》申报的“采用国产MOCVD设备开发/产业化超高亮度LED”项目,已经接到国家工信部项目立项通知,获批补贴款600万元,专用于项目所需的设备或材料的购置等。
这对于我国的MOCVD行业来说都是一个好消息。政府的支持给了我国的MOCVD企业十足的信心。
据悉,国内涉足MOCVD设备研发制造的企业约有13家,且部分国产设备已具备较高水平竞争力,有些设备在产能及成本方面同维易科相比甚至具备一定的优势。
以中晟光电设备为例,在2012年的时候,中晟光电设备就推出了拥有自主创新知识产权的大型国产MOCVD设备。它所拥有的目前世界上的系统产能、低的外延生产成本、良好的波长均匀性、大规模外延生产所需的各项关键性能等4项核心的差异竞争力已经达到了世界先进水平,提升了我国MOCVD的整体实力。