来源：EEWORLD
时间：2013-09-29
MEMS 技术已经改变了整个的消费品市场，从智能手机到平板电脑，而 传感器 种类也是越来越多，而随着MEMS技术的不断成熟，汽车、工业、医疗等市场也开始越来越广泛的使用。
根据HIS的统计报告，今年MEMS市场规模将达到90亿美元，而2016年将成长至120亿。
以下是EETimes编辑总结的2013年度热点传感器。
MEMS RF调谐
自从被用在喷墨打印头之后，消费市场一直是传感器的热门应用领域，仅手机市场中，就有超过60亿个传感器，其中绝大部分都是惯性传感器，包括加速度计、陀螺仪以及磁力计等。
不过现在已经有MEMS芯片开始进入手机射频领域。
WiSpry公司是业界首个推出手机用MEMS RF调谐器件，2013年，该领域又出现了一个新晋公司，Cavendish Kinetics宣布其自适应调谐新品可支持LTE，并可以有效防止掉线。
WiSpry和Cavendish的可调电容阵列技术不光是自适应天线阻抗匹配，还支持频率调谐、滤波调整、功率放大器负载调整等。
Cavendish 2013年的产品RF前端模块可调，2014年将提供放大器负载可调，2015至16年将提供可调滤波器和全双工器产品。
MEMS麦克风
博世子公司Akustica日前开发出新一代的MEMS麦克风，支持宽频高清音质。
到目前为止，包括美国Sprint在内的20家运营商宣称支持宽带音频。而另外的220多家运营商中的大部分也会在2013年投入这个业务。
Akustica系列高清晰度的MEMS麦克风有着超宽的频率响应，因此有着十分清晰的语音识别。共提供给每个消费电子应用四个可供选择的种类。
高清晰度的音频通道已经被电话会议设备和VOIP广泛使用。但是随着高清晰度的音频透过传统的语音通道在全球传播，未来产品中的宽频带能力必须要有一个标准配置。
MEMS振荡器
Sand 9将推出业界首款射频时钟芯片。Sand 9的谐振器采用晶圆级封装，因此可以做的更小更集成。
实际上目前手机中占地面积的元件就是石英振荡器，而MEMS振荡器相比石英产品，体积更小，更精确以及更廉价。
Sand 9推出的业界首款手机用MEMS时钟解决方案，该产品的电子机械性能是传统MEMS时钟的100倍。
CMEMS
新型Si50x振荡器基于Silicon Labs专利的CMEMS®技术，此为首个在大批量生产中把MEMS架构直接构建于标准CMOS晶圆（Wafer）上，从而获得完全集成的高可靠“CMOS+MEMS”单芯片解决方案。
与现有的频率控制解决方案相 比，Silicon Labs Si50x CMEMS振荡器系列产品具有更小尺寸、更高可靠性、更佳抗老化性以及更高集成度，他采用专利技术的单体架构，在单晶片（Single-die）上集成 MEMS谐振器和CMOS振荡器电路。首创的CMOS+MEMS集成架构与Silicon Labs经过市场验证的混合信号专业经验相结合，将大幅改写频率控制产业。
TempFlat
还是时钟振荡器。SiTime公司(SiTime Corporation)日前宣布，推出TempFlat MEMS。在TempFlat出现之前，所有MEMS振荡器都采用补偿电路来达到所需频率稳定度。 而SiTime的TempFlat MEMS是一个革命性的突破，通过消除温度补偿需求，大幅度的促进了性能的提高，尺寸的缩小，功耗和成本的降低。
pMEMS
IDT的 MEMS振荡器利用了其专有的压电MEMS谐振器技术，可提供一个拥有无与伦比性能和可靠性的高频率源。IDT公司负责MEMS业务的总经理Harmeet Bhugra介绍说，这种压电MEMS振荡器相比石英振荡器可以实现更低的相位抖动，支持更高的频率，它不需要电源供电，工作的温度范围更宽，与电容式MEMS振荡器相比，压电MEMS振荡器在生产时免去了100nm electrode gap,更利于生产制造。
IDT MEMS振荡器可提供优于石英40倍的可靠性，无扰动、无零时故障、对电磁干扰 (EMI) 有更高抖动阻力，并具有出色的抗冲击和抗振性，这使它们成为传统的基于石英振荡器的一个理想的升级解决方案。
电子罗盘
意法半导体新产品LSM303C 电子罗盘比实力接近的竞争产品节省近1mm2 的印刷电路板空间，这有助于设计人员优化器件配置，小化Wi-Fi®、Bluetooth® 和蜂窝射频接口（cellular radio interference），从而提高室内导航或先进运动跟踪等应用的性能。对于其它智能消费电子和专业应用，包括可穿戴设备，LSM303C在尺寸方面的优势使其能够实现尺寸更小设备的设计。此外，在印刷电路板上，这款加速度计与磁力计的封装意法半导体的12引脚纯加速度计相兼容，让设计人员能够迅速更新或提升更多基本产品的功能。
InvenSense的可穿戴
InvenSense公司在消費電子展(CES)上發佈了一款可穿戴且可理解使用情境(Contextual Awareness)的系統開發套件(CA-SDK)，將有助於這一類可穿戴式設備的開發與應用。 圖2：InvenSense的軟體開發套件包含一塊PCB板，板上安裝其9軸INU以及MotionTracking軟體
這款可穿戴的CA-SDK套件看起來就像一只手錶，包含一個9軸的慣性導航單元(INU)──MPU-9250。InvenSense公司在去年CES上發佈其9軸INU的早期版本，當時這款產品中搭載其晶片上動作追蹤(MotionTracking)演算法，以偵測智慧型手機、平板電腦和其它消費電子設備的方向、位置與動作。
今年InvenSense公司將INU的體積從4x4mm縮小到了3x3mm，同時還擴展其動作追蹤演算法功能，使其搭載具有使用情境意識的演算法，以偵測設備的情境架構，並且製作了一款虛擬感測器，可根據具體動作改變它們的功能。此外，還具有衍生的計算功能，例如卡路里燃燒速率。這款9軸INU可單獨供應，也可隨InvenSense的腕戴式軟體開發套件一起提供。這款SDK與INU均支援在InvenSenseMotionApps軟體開發平台上執行的數位動作處理應用程式，MotionApps開發平台並支援Google的Android Jelly Bean、微軟的Windows 8和Windows RT。
传感器融合及高精度IMU进入消费级市场
包括InvenSense的MotionTracking算法，ST的STM32F4内置的Movea算法以及博世的Bosch"s FusionLib。
博世专门为家庭特定传感器节点开发了智能惯性测量单元（IMU），IMU会给消费电子设备一切数据资料，比如防抖、行人跟踪、手势识别、室内导航、增强现实等。
除了消费应用，工业用IMU也很多，一直以来ADI都是工业用IMU王者，然而2013年，消费级MEMS供应商也开始涉足该领域。
比如Invensense,Epson等公司，爱普生宣布其结合MEMS和石英技术设计的陀螺仪，可以比光纤陀螺或者环形激光陀螺更小、更准确、更便宜。
爱普生设计的产品可以应用在无人驾驶系统，井下钻探，医疗器械，航空航天等场景中。
医用MEMS
医用MEMS是的领域，美国食品及药物管理局（FDA）已批准十几种基于MEMS的健康监控设备，比如Preventice公司的BodyGuardian远程监控系统，它把一个胶带直接贴在人体上，然后随时把心电图、心率、呼吸率和活动水平通过无线方式发送给医疗人员，从而帮助老年人安享晚年，病人更早地安全离开医院，从而减轻医院人满为患的问题。
包括Debiotech公司（瑞士洛桑）与意法半导体合作开发的胰岛素注射泵，可以自动向监控糖尿病患者并释放胰岛素;CardioMEMS（美国）正在开发的可植入血压监测计。
Replenish公司的可植入微流体泵可以安置在眼内，可以在需要时精确地释出几纳升的药物，可以持续工作九个月才需要重新装药。
